Для определения длины когерентности необходимо определить время когерентности источника, связанное с шириной спектральной линии излучения соотношением скорость света. Лазерные источники обладают значительно большей длиной когерентности, чем другие источники света. Линия излучения газовых лазеров предельно узка, а следовательно, велика длина когерентности. Так, при сравнительно легко достижимой ширине линии излучения газового лазера. Одно годовые гелий-неоновые лазеры имеют и более узкую ширину линий излучения. Так, достигнута кратковременная ширина излучения гелий-неонового лазера, равная 2 Гц. Обычные источники света обеспечивают в лучшем случае время когерентности, следовательно, длину когерентности порядка 3 м. Погрешности измерений интерферометрическим методом в основном обусловлены нестабильностью частоты источника света, так как эталон длины — длина волны света. При изменении этого эталона длины, т. е. при уходе частоты, возникают ошибки измерений. Обычно стабилизация частоты лазеров достигается путем стабилизации длины оптического резонатора, так как изменение длины резонатора лазера вызывает изменение частоты излучения. Достигнутая точность стабилизации частоты составляет, следовательно, и потенциальную погрешность в измерении длины интерференционным методом можно охарактеризовать такой же величиной. Таким образом, лазерные источники света по своим качествам значительно превосходят обычные источники, применяемые ранее в интерферометрах; лазеры обладают значительно большей интенсивностью, когерентностью. По этой причине с появлением лазеров интерференционные методы измерений начали интенсивно развиваться и применяются не только для научных исследований, но и в производстве.