Для мерных приборов и точного измерения небольших расстояний применяют интерферометры. В последнее время эти приборы используют для измерения деформаций сооружений, а также для изучения поверхности строительных материалов, контуров на поверхности кристаллов и т. д. Измерения с помощью интерферометров характеризуются относительной погрешностью. Интерферометрами называют приборы, служащие для пространственного разделения двух световых лучей и создания между ними определенной разности хода с целью получения интерференционной картины, по которой определяют измеряемое расстояние или изменение расстояния. До появления лазеров в интерферометрии применялись источники света с узким волновым спектром. При использовании в интерферометре монохроматического света яркость полос интерференционной картины зависит от яркости источника света и разности хода оптических лучей. Если источник света имеет широкую полосу излучения, т. е. излучение состоит из волн различной длины, то интерференционная картина менее ярка и окрашена, так как для различных длин волн положение максимумов (или минимумов) смещено относительно друг друга. Величина смещения полос интерференционной картины для различных длин волн возрастает с увеличением разности хода ширины спектральной полосы. В идеальном случае (если бы источник света излучал на одной частоте) можно было бы наблюдать интерференционную картину при неограниченной разности хода световых лучей. Ширина волнового спектра для различных источников света неодинакова и поэтому неодинакова длина когерентности. Длина когерентности характеризует ту максимально допустимую разность хода световых лучей, при которой еще наблюдается картина интерференции.