Для определения разности хода на пути световых лучей, прошедших оба эталона, устанавливают оптический клин. Разность хода лучей компенсируется в том месте клина, где его толщина равна. В этом месте наблюдается белая интерференционная полоса. Для удобства измерений оптический клин градуируют и по положению белой полосы определяют разность хода световых лучей. Определив длину второго эталона, сравнивают его с другим эталоном, имеющим в два раза большую длину и т. д. По описанному методу можно сравнивать измеряемую линию с эталоном, длины которых находятся в отношениях и т. д. При этом наблюдается интерференция лучей, отразившихся по три, четыре и т. д. раз от зеркал первого эталона и по одному разу от зеркал второго эталона. Обычно кратность длины сравниваемых эталонов не превышает 6—8, так как многократно отраженный световой пучок сильно ослабляется по сравнению с однократно отраженным, что затрудняет наблюдение интерференционной картины. Этот способ сравнения длины эталонов требует высокой, точности при установке зеркал взаимно параллельно. При менее точной установке зеркал в интерференционных компараторах эталоны сравнивают по способу. Лучи, выходящие из точечного источника белого света, с помощью коллиматора делаются параллельными и разделяются диафрагмой на два световых пучка. Один из них многократно отражается от зеркал и попадает в объектив, а другой — отражается зеркалом и попадает в тот же объектив зрительной трубы. Если расстояние между зеркалами в целое число раз больше расстояния между зеркалами, то в фокусе объектива наблюдается интерференционная картина. Расстояние между зеркалами обычно берут равным 1 м или 1 м 20 см. Способом выполняют высокоточные измерения контрольных линий длиной до 864 м.